广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安涡轮分子泵负载

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现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分，只有两类，即：

① 容积式的干式真空泵, 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa, 抽速为0.01～0.04m3/s。

② 动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa, 抽速为0.02～0.15m3/s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

氦质谱检漏仪检测开始时出现的故障

1、检漏键无效(绿色指示灯亮)

检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。

2、检漏键无效(指示灯不亮)

I/O短接插头未插入氦质谱检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时氦质谱检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安涡轮分子泵负载超高真空泵维修

广州潽拓光电科技有限公司是进口真空泵供应商,为客户24小时提供技术支持及售后维保服务，包括磁悬浮分子泵、高真空分子泵、分子泵、隔膜真空泵、涡旋分子泵，涡轮分子泵、超高真空泵、复合分子泵等。欢迎广大业界人士来电来函，我们将竭诚为您提供相关的技术指导与全套满意的维修服务支持。

涡旋泵在一些发达国家已经逐步代替了油封式机械泵。目前涡旋泵主要应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。

涡旋型线参数相同、相位角差π、基圆中心相距r(r的取值与渐开线节距及壁厚有关)的动涡旋盘与静涡旋盘组装后，可以形成数对封闭的月牙腔。当偏心轴推动动涡旋盘中心(即基圆圆心)绕静涡旋盘中心(即基圆圆心)做半径为r的圆周轨道运动时，这些封闭月牙腔容积相应地扩大或缩小，由此实现气体的吸人、压缩和排气的目的。低压气体从静涡旋盘上开设的吸气口进入吸气腔，经压缩后由静涡旋盘中心处的排气口排出。

真空泵排气原因：

真空泵油积碳，发黑，像油泥一样，所以在排气口处出现冒油烟。出现这种情况时，要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。超高真空泵维修

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旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。进口真空泵维修

电子束蒸发镀膜需要高真空环境！

电子束蒸发法是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料, 使蒸发材料气化并向基板输运, 在基底上凝结形成薄膜的方法. 常见于半导体科研工业领域. 利用加速后的电子能量打击材料标靶, 使材料标靶蒸发升腾. *终沉积到目标上.进口真空泵维修

在蒸发镀膜设备中, 真空镀膜室的本底真空度要求较高, 一般真空度越高, 腔室内杂质气体的量越少, 镀膜材料在沉积到基片上的过程中, 与环境中的杂质气体碰撞变少, 粒子的能量大, 可以在基片上形成更致密均匀的膜, 由于分子泵的无油和高真空特性, 逐渐取代了有油的扩散泵成为*普遍的真空系统,进口真空泵维修

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